东方晶源电子束缺陷检测设备EBI 斩获第五届“IC创新奖”

　　7月9日，由其他其他国家集成电路创新东部联盟主办的”2022集成电路产业链协同创新发展方面 交流会”以六大会场加图源连智能汽车龙头股票有哪些线的形式同步举行颁奖。腾讯体育集成电路全产业链各环节的优秀企业自身、高校和科研院所的千余位代表行业内参会，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海老先生受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业相关技术创新奖（简称“IC创新奖”），东方晶源凭借电子束缺陷检智能汽车龙头股票有哪些测设备（EBI），获得相关技术创新奖。

　　“IC创新奖”由其他其他国家集成电路创新东部联盟主办，面向当前我国集成电路产业链上下游企事业其他单位征集，重点鼓励集成电路相关技术创新、成果产业化、产业链上下游首次合作，是集成电路产业重要相关技术奖项他成 ，中有相关技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大相关技术创新和重要相关技术开发能力方面重大成效重大突破的其他单位和技术团队。此番摘得行业内重磅赛事的重要奖项，仍然彰显出东方晶源在电子束检测、量测其它领域的相关技术超强实力和行业内的整体高度认可。

　　检测是芯片制造厂商整体提升良率的重要形式。电子束检测设备兼具超高精度，在高端芯片制造积累过程发挥的起着越来越多越多大。目前来看，该类设备被当前我国厂商垄断，他成 制约当前我国芯片制造自主可控的重要瓶颈。东方晶源数年磨剑，不成功研响声当前我国首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505，可直接直接提供的纳米级缺陷检测和及分析解决解决问题方案。目前来看已予以 当前我国头部芯片制造厂商产线验智能汽车龙头股票有哪些证，验证实际结果表明两个方面指标与当前我国一线对标机台不超过 同等水准，不成功解决解决问题当前我国在电子束检测其它领域的重要相关技术解决问题。

　　东方晶源在电子束检测、量测其它领域已深耕多年并不成功强势推出多款设备，重大成效重大突破。除此番获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台智能汽车龙头股票有哪些12英寸重要尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于去年年底6月步入产线验证，目前来看已完成成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异无法潜在需求相关要求，性能仍然改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于去年年底3月步入产线验证，目前来看实际结果 步入客户多产线小规模试产。中有，东方晶源还于近几个月 公开发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM），目前来看该设备工程机（Alpha机）实际结果 予以 首轮wafer demo，也可无法潜在需求28智能汽车龙头股票有哪些nm及不不超过 都制程无法潜在需求，Beta机集成工作会加速推进中，已重大成效客户多订单，步入产线验证指日可待。

　　他成 这家聚焦集成电路良率管理其它领域，以整体提升芯片制造门槛为使命的半导体企业自身，东方晶源仍然以研发创新为发展方面 核心，不停地地丰富系列产品 矩阵并整体提升系列产品 性能，填补多项当前我国空白。如果未来 ，东方晶源将仍然立足一体化使用软件平台支持和检测装备两大其它领域，以客户多为三个中心，以目前市场为导向，不停地地予以 相关技术突破与系列产品 创新，与当前我国集成电路产业上下游企业自身勠力同心，推动当前我国集成电路制造产业仍然高速发展方面 。